草創は美濃の池田左京大夫源頼重である。
彼は蓮如の弟子となり乗阿と号した。
乗阿は明応５年（1496）に池田郡池田村に心光坊を建立。
天文年間（1532～55）に犬山の木下村（現、犬山市犬山木下）に移転。
元和５年（1619）寺号を浄誓寺と改める。
江戸中頃、寺内町に移転。
本堂は、文化５年（1808）に建て替えられた。また、平成7年（1995）改修。
平成19年（2007）本堂が国の登録有形文化財となる。